281026 Physik dünner Schichten I (V) (WiSe 2002/2003)

Dünne Schichten werden in unterschiedlichsten Produktionsfeldern in sehr großer Vielfalt eingesetzt, z. B. Computertechnologie, Speichermedien (Diskette, CD, Festplate, DRAM, ...), Sensorik für Automobiltechnik, Medizinische Knochenimplantate oder ganz einfach Brillen, Scheinwerfer, etc. Diese Vorlesung behandelt die Herstellung, Struktur und Physik dünner Schichten und von Nanostrukturen, die auch in den lateralen Dimensionen nur aus wenigen Atomlagen bestehen.
Die Veranstaltung gliedert sich daher inhaltlich in zwei große Blöcke:
A. Dünne Schichten
? Herstellungsverfahren (Aufdampfen, Sputtern im Ultrahochvakuum, Epitaxie, ...)
? Wachstum- und Strukturbildung (angewandte Thermodynamik der Keimbildung, Kinetik der Schichtbildung, Festkörperreaktion, Strukturvielfalt dünner Schichten)
? Analysemethoden (die wichtigsten Oberflächen- und Bulk' -Methoden)
? Physikalische Eigenschaften (mechanische, elektrische, optische, magnetische, ...)
? Anwendungen (Diamantschichten, Solarzellen, Festplatten-Leseköpfe, ...)
B. Nanostrukturen
? Physik lateral begrenzter Strukturen (klassische ?Size?-Effekte, Quantisierung, ...)
? Herstellungsverfahren (Lithographie, Moleküle als Bausteine, alle Tricks sind erlaubt!)
? Anwendungen (Quantendot-Laser, zukünftige Festplatten, Naturkonstanten als Maße und Standards)

Requirements for participation, required level

ab 7. Semester, ab 5. Semester nur bedingt

Bibliography

Dünne Schichten und Schichtsysteme, 17. IFF-Ferienkurs, Vorlesungsmanuskripte, Jülich 1986
Milton Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press, San Diego (2001)
John A. Venables, Introduction to Surface and Thin Film Processes, Cambridge University Press (2000)
Aicha Elshabini & H. Sitter, Molecular Beam Epitaxy, Springer-Verlag, Berlin (1996)
M.A. Hermann & H. Sitter, Molecular Beam Epitaxy, Springer-Verlag, Berlin (1996)