281037 Nanostrukturphysik (präparative und analytische Methoden der Nanostrukturierung, auch als Fortsetzung der Vorlesung Physik dünner Schichten I des WS 02/03) (V+Ü) (SoSe 2003)
Kurzkommentar
Inhalt, Kommentar
-
Präparative und analytische Methoden der Nanostrukturierung (Lithographie, Ätzprozesse, Querschnittspräparation, Schichtmessverfahren, Elektronenmikroskopie, Röntgenbeugung, Rastersondenverfahren, Selbstorganisation u.a.) mit praktischer Einweisung in den
entsprechenden Laboren
Teilnahmevoraussetzungen, notwendige Vorkenntnisse
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Festkörper- und Oberflächenphysik
Literaturangaben
-
Büttgenbach: Mikrostrukturtechnik / (Teubner, Taschenbuch)
Ray-Choudhury; Handbook of Microlithography (Cambridge Univ. Press)
u.a.
Lehrende
Termine ( Kalendersicht )
| Rhythmus | Tag | Uhrzeit | Format / Ort | Zeitraum | |
|---|---|---|---|---|---|
| nach Vereinbarung | n.V. | - | - | - |
Fachzuordnungen
| Studiengang/-angebot | Gültigkeit | Variante | Untergliederung | Status | Sem. | LP | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Physik / Bachelor | (Einschreibung bis SoSe 2011) | Kern- und Nebenfach | Modul 19; Profil Biophysik | Wahlpflicht | 7. 8. | 5 | unbenotet |
Keine Konkretisierungen vorhanden
Kein E-Learningangebot vorhanden
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- Letzte Änderung Grunddaten/Lehrende:
- Freitag, 11. Dezember 2015
- Letzte Änderung Zeiten:
- Freitag, 14. März 2003
- Letzte Änderung Räume:
- Freitag, 14. März 2003
- Art(en) / SWS
- Vorlesung (V) + Übung (Ü) / 2+2
- Einrichtung
- Fakultät für Physik
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