Präparative und analytische Methoden der Nanostrukturierung (Lithographie, Ätzprozesse, Querschnittspräparation, Schichtmessverfahren, Elektronenmikroskopie, Röntgenbeugung, Rastersondenverfahren, Selbstorganisation u.a.) mit praktischer Einweisung in den
entsprechenden Laboren
Festkörper- und Oberflächenphysik
Büttgenbach: Mikrostrukturtechnik / (Teubner, Taschenbuch)
Ray-Choudhury; Handbook of Microlithography (Cambridge Univ. Press)
u.a.
| Rhythmus | Tag | Uhrzeit | Format / Ort | Zeitraum | |
|---|---|---|---|---|---|
| nach Vereinbarung | n.V. |
| Studiengang/-angebot | Gültigkeit | Variante | Untergliederung | Status | Sem. | LP | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Physik / Bachelor | (Einschreibung bis SoSe 2011) | Kern- und Nebenfach | Modul 19; Profil Biophysik | Wahlpflicht | 7. 8. | 5 | unbenotet |